euv光刻机到底有多精密

euv光刻机到底有多精密？

目前全球唯一能够制造euv光刻机的只有荷兰阿斯麦尔一家，并且是由几十个国家参与，十几个国家最尖端的零部件组合而成。其重量达到180吨，零部件多达十万个，就连安装调试都需要一年时间。

就比如其极紫外光光源，是用激光瞬间轰击几万个锡滴微粒而产生的，就这个精准的操作目前全球只有美国能量产。

还有蔡司镜头，其镜头平面精度要求起伏低于将一缕头发放在地球大小的平面上。